图片来源：中国科学院上海微系统所

“长期钻研微纳传感与MEMS领域，破核心部件困局。以百项专利促成果转化，育科研英才，扬中国该领域国际话语权，为国家重要工程立功。”这是上海市政协委员、中国科学院上海微系统与信息技术研究所副总工程师李昕欣，在第二届上海市统一战线系统优秀典型选树活动中获评“十大优秀典型”的颁奖词。
在微纳电子机械系统（MEMS）与传感技术的前沿赛道，李昕欣深耕近四十载，以创新为桥贯通产学研用，成为我国该领域国际知名的学术带头人与技术开拓者。
1987年，李昕欣毕业于清华大学无线电电子学系。1992年至1998年，李昕欣在复旦大学电子工程系半导体物理与半导体器件物理专业读研究生，先后获硕士、博士学位。在复旦大学读书期间，李昕欣主动调研、构思选题、撰写实验方案，在博士毕业时，做出了国内第一个MEMS陀螺仪。
“我不愿做别人‘嚼’过的。”李昕欣对科研选题的判断标准，除了创新性，还有未来应用潜力，以及当下是否具备解决的可能性。
2001年，李昕欣从日本回到上海，在中科院上海微系统与信息技术研究所任研究员。他做的第一件事就是到传感器生产厂家、用传感器的仪器厂商那里调研，带着从产业一线收集到的问题回到实验室。如何解决这些问题，就成了他接下来工作的主要方向。
传感器常被形容为机器的“感觉器官”。温度、压力、光线、气体等外界变化，往往都需要先通过传感器转化为设备能够识别和处理的信号。随着数字化转型持续推进，传感器这一基础器件的需求快速增长，应用场景不断拓展。
“有的传感器，变一种形式，就是一台完整的科学仪器。”作为传感器的科研人员，李昕欣心里清楚，“高端科学仪器是科研人员的重要工具，也是科学研究的源头，必须自主可控。”
历经十余年攻关，李昕欣带领团队在微米尺寸的悬臂梁上，他们集成了程序升温、微机械谐振驱动和频率检测元件，实现了在快速升温中原位测量化学反应或表面吸附引起的微小质量变化，分辨能力优于1皮克，较传统技术提升6个数量级，实现了分子级动态测量的突破。
“将原来相互独立的吸附分析仪和热分析仪功能，集于一台仪器中实现，彻底改变了以往分析仪器分类格局。”李昕欣表示，“这项发明首次实现超高灵敏度原位测量，使原来测不到的测到了、测不准的测准了。”令他自豪的是，该国产高端科学仪器实现了“反向出口”，售往多家海外著名科研机构。
“高端科学仪器事关国家创新体系的底座，意义深远。人们普遍对‘用传感器’感兴趣，缺乏对‘做传感器’的关注。”李昕欣认为，“推动这一领域发展，既要做出成果，也要培养能够持续接力的人。”
作为博士生导师，李昕欣不喜欢引导学生去做什么，他认为，“年轻一代未来做什么，应当由学生自己判断、选择，导师能做的是提供帮助和支持。”在他看来，“科研训练最终指向的是具备独立思考能力。”他带出的学生中，有人加入高校或科研机构，成为国家相关领域的领军人才；有人进入产业界，迅速成为技术骨干；也有人带着实验室里的原创技术，走向产业一线。
“我希望学生在博士毕业前，不仅能高质量完成既有课题，还能自主提出一个新课题。”李昕欣认为，“这意味着这名学生已经成长为独立的科研工作者。”